CHT2060ZA/SLV560ZA

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     ウエハ検査

半導体テストシステム
【MOS-FET, IGBT, DIODE】

本器はプローバー測定を考慮したオーバーヘッド機構の測定部により、DC 測定とL 負荷測定を連続して行えるテストシステムです。L 負荷測定での異常波形検出はヘッドボックス内の保護回路より、高速で電源を遮断する機能が装備されています。

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